价格实惠的半自动 LED UV 固化机适合小规模生产和研发。适用于 6/8/12 英寸晶圆环框架。可根据您的环尺寸定制。

工艺流程：

1. 操作员按下按钮，抽屉移出

2. 将安装在晶圆环上的晶圆放入抽屉中

3. 按下按钮让抽屉移入

4. 照射自动开始

5. 照射完成后抽屉弹出

机器特点

• 无红外线辐射，冷光源，适合各类热敏性材料的固化。

• 通电后无需预热，即时开启/关闭，瞬间达到最大光照强度。

• 省电，操作方便。

• 不含臭氧和汞，对环境无害。

• 适用于所有类型的 UV 胶带

• 波长：365nm +/- 5nm

• 与汞灯相比，固化均匀性更好

• 支持晶圆环尺寸最大可达12英寸

• LED UV灯使用寿命20000小时以上

• 固化时间快（功率强度：高达 600 mW/cm2，能够在不到 5 秒的时间内固化大多数胶带）

• 本机可保存最近30天的记录，每天最多可保存1000组测试数据记录

• 最多可以编程 5 种不同的食谱

• 无需 N2 气体

• 1 年保修